美光科技将引入极紫外光刻机，2024 年部署到部分工艺节点

据国外媒体报道，在 2021 财年第三财季的财报分析师电话会议上，美光科技 CEO 兼总裁 Sanjay Mehrotra 透露，他们将引入极紫外光刻机。

从 Sanjay Mehrotra 在财报分析师电话会议上透露的消息来看，美光科技是计划 2024 年，在部分工艺节点部署极紫外光刻机，随后扩大到更多工艺节点。

Sanjay Mehrotra 还表示，他们一直在关注极紫外光刻机的进展，他们其实也在评估引入极紫外光刻机。

事实上，美光科技此前就曾表示他们将引入极紫外光刻机。Sanjay Mehrotra 在会上就提到，他们曾多次表示，当他们认为极紫外光刻机平台及生态系统变得更成熟的时候，他们就将在适当的时间点引入极紫外光刻机。

值得注意的是，美光科技并不是首家引入极紫外光刻机的存储芯片制造商，SK 海力士就已在他们的 M16 工厂安装极紫外光刻机，在 2 月份就开始试生产 1anm 的 DRAM，预计在今年 7 月份开始大规模生产。