理解和应用微电子机械系统(MEMS)

MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来，MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。
如今，MEMS技术已经被广泛的应用到了各种领域，ADI公司提供了业内一流的测量加速度和角速度的MEMS芯片。
今天的研讨会，我们就来跟大家讨论一下MEMs的工作原理以及MEMs在医疗，消费类，汽车等领域的应用。