聚众正式发布光刻机微振监测传感器

近日，聚众正式发布一款针对光刻机的微振监测传感器JAYDV10。

光刻机（尤其EUV）对0.1–20Hz低频微振极度敏感，纳米级别的位移就会导致光刻工艺故障。传统工业传感器低频差、噪声高、漂移大，无法满足光刻机纳米级监测需求。

聚众新研制并发布的高精微振监测传感器JAYDV10可实现超低频极致响应，满足光刻机微振监测需求。

聚众微振监测传感器JAYDV10

JAYDV10核心技术参数如下：

产品核心优势：

1.超低频极致响应：0.1Hz起测，精准捕捉2–10Hz致命共振（工件台固有频率区间）。

2.EUV兼容低噪声：特殊屏蔽设计，抗电磁/真空干扰，适配EUV强辐射环境。

3. 长期漂移小：航天航空级别的封装，稳定性高，避免频繁校准影响生产。

4.小型化易安装：60×60×45mm，磁吸/粘接/螺丝固定，适配基座、工件台、镜头架狭小空间。

目前，这款微振监测传感器已由本公司送样海外光刻机客户，目前反馈良好。

浙江聚众集成电路有限公司致力于中高端传感的自主研发，是国内极少数拥有MEMS芯片自研能力的传感器公司（公司新一代MEMS芯片已于近日流片成功）。聚众高度重视和关注半导体设备产业的发展，去年11月26日完成研制并发布了用于半导体设备腔体测量真空度的真空规（一种压力传感器）之后，真空规系列产品的研发与生产正在日趋成熟，加上本次发布的微振监测传感器，我司在半导体设备领域高端传感器的产品布局进一步加强。我司将继续深耕半导体设备领域高端传感器的研制，为国内半导体设备产业发展升级助力和护航。