全国首家 12 英寸晶圆再生工厂在合肥量产

经过多年发展，合肥已成为国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一。甚至每次出现关于合肥的新闻都会引起IT之家小伙伴的惊叹。

据合肥市人民政府发布，合肥至微项目成为国内最早具备 12 英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一，全国首家 12 英寸晶圆再生工厂现已实现量产。

（科普： 所谓“晶圆再生”，指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本）

据介绍，合肥至微项目总投资近 10 亿元，于 2020 年 3 月正式开工、2020 年 12 月项目设备调试、2021 年 3 月试生产，并在今年 6 月进入量产阶段。

合肥量产的这一晶圆再生项目以 14 纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的 12 英寸晶圆再生产线。

官方表示，该项目全面达产后，可形成每年 168 万片晶圆再生及 120 万件零部件清洗的能力，满产后年产值可超过 6 亿元。

据悉，这是国内最先量产的 12 英寸晶圆再生工厂，该项目将对我国半导体行业产生重大影响。

值得一提的是，国内高端晶圆此前若要进行再生需求都需要先送到日本、中国台湾等地进行处理。