借助PAT测试实现半导体器件的零缺陷制造

说明：
PAT测试采用零件平均测试(Part Average Testing, PAT)方法将异常零件从总零件中剔除，从而在供应商这一级就改进部件的质量和可靠性。对给定晶圆、批号或被测零件组，PAT方法可以指示总平均值落在6σ之外的测试结果，任何超出给定器件的6σ门限值的测试结果均被视为不合格，并从零件总数中剔除，那些未达到PAT门限值的零件不能付运给客户,这样一来就改进了器件的质量和可靠性。

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