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Advantest公司开发出利用短脉冲太赫兹波对电路进行分析的技术

东京 - (美国商业资讯) - 领先的半导体测试设备供应商Advantest公司(TSE:6857,NYSE:ATE)今天宣布,它已经开发出利用短脉冲太赫兹波对电路进行分析的技术。该技术有两个主要的应用 - 的使用子太赫兹波带(100GHz的〜1THz的),以及表征和在芯片电路(TDT / TDR)的故障定位设备的传输特性(S参数)的分析。这项新技术克服了技术障碍和现有技术的成本过高,并且将显著的开发和更广泛地采用这些先进的设备作出贡献。

1.亚太赫兹传输特性分析技术

智能手机和其他移动设备的普及带动了巨大的增长的无线通信量,现在威胁要压倒当前分配频率的能力。因此,全球研发努力已经开始关注子太赫兹频带,而没有被用于无线通信迄今为止更高的频率范围。
在高频器件的发展,这是至关重要的,以评估整个系统的频率特性,其中包括有源器件的增益和输入和输出阻抗,以及电路板和连接器。这个过程的一部分,是信号的幅度和相位射出,被称为S参数或散射参数的反射和透射特性的测量。但是,现有的网络分析仪只能测量频率范围高达100GHz的宽在同一时间,所以当更广泛的范围内的信号特性,必须进行评估,工程师不得不一再改变他们的设备的配置和重新测量。这会导致额外的工作,长的测量时间,并且在测得的数据的不连续性。测量费用比例也上升到这些缺点。

爱德万的新技术有望显著减少这些负担。它采用飞秒光脉冲激光作为信号源,可实现的S参数的一通测量到1.5THz用宽带光/电转换探针。这些增效的好处将归于用户节省时间,劳动力和成本方面。

2.高空间分辨率的芯片布线质量分析技术

尽管半导体电路的持续收缩促进了几代更小,更快消费电子,摩尔定律是创下了技术墙上的危险。规避小型化的物理极限,芯片制造商正在开发与电路在单个封装中的多个层的3D半导体。然而,接线故障分析是3D芯片发展的一个重大挑战。与堆叠在彼此顶部的多个基板,因此很难确定,其中布线故障(开路,短路,阻抗不匹配)时有发生与X射线检查和其它现有技术。一般地,示波器TDR(时域反射计)和/或TDT(时间域transmissometry)用于查明这些故障,但在这些微小的几何形状,非常高的空间分辨率是必须的。

因为爱德万的新技术采用了飞秒光脉冲激光作为信号源,它达到小于5微米,并为300mm,最大测量范围内具有优异的空间分辨率。随着使用公司的太赫兹光谱和成像系统的成功记录,爱德万的飞秒光脉冲激光拥有极高的分辨率。此外,新技术提供了一个映射函数,可在设备的CAD数据查明的布线故障的位置,使得它的最佳工具,用于查找在极其复杂的,高密度电路的缺陷。

爱德计划2015年其会计年度内的商业化新技术(三月,2016年末)。利用新技术的原型系统将在无线科技园展出,将在东京有明举行5月27日至29日,2015年。
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