弥费科技宣布完成晶圆厂整厂AMHS系统验证交付

实现国内首家在半导体领域AMHS系统级交付的重大突破

9月25日至27日北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会在京隆重召开，弥费科技董事长、CEO缪峰受邀出席并在27日的专题论坛「集成电路专用设备的机遇与挑战」中带来《适用于半导体晶圆厂的国产自动物料传送系统AMHS》的主题演讲，分享半导体晶圆厂国产化AMHS的关键性技术挑战与市场机会，并首次公开了在半导体领域整厂级AMHS国产替代成功交付的最新案例。

作为中国领先的半导体晶圆厂AMHS设备整体解决方案供应商，弥费科技完成了从AMHS产品供应商向AMHS系统级供应商的演进，采用公司AMHS硬件设备及软件的整厂订单已被国内最大的专注于车规级碳化硅芯片制造企业广东芯粤能半导体有限公司验收通过。此次成功交付展示了弥费科技在该领域的技术实力和解决方案的可靠性，也代表着弥费科技成为国内首家具备晶圆厂整厂级AMHS解决方案、量产能力、项目实施经验和交付案例的国产替代供应商，填补了国产半导体AMHS系统在该领域的空白。

AMHS是一套复杂的自动化搬运系统，对工厂自动化尤为重要。以大陆目前量产的先进工艺节点28nm为例，其平均光刻层数近50层、工艺步骤超过1000步、生产周期90天左右，一个4万片月产能28nm工艺节点的全自动晶圆厂每天的晶圆盒传送量超10万次，相比于晶圆厂AMHS系统，面板厂的传送量仅为半导体晶圆厂的1%。晶圆厂搬送的载体一般是5-10公斤的晶圆盒，而面板厂一般是几百斤的玻璃基板，搬送效率和复杂度完全不是一个级别。对于面板厂和晶圆厂的AMHS系统来说，是两套完全不同的标准，不能兼容。

半导体芯片制造流程复杂，生产工序达上千道，晶圆制作过程技术要求较高。晶圆厂的AMHS系统由硬件设备及全自动控制软件构成，数量众多的AMHS设备在AMHS软件的控制下实现全自动物料智能搬运，实现晶圆厂无人化运转，一套高效的AMHS系统可以在极大程度上减少在制品的等待时间，对保持和提升晶圆厂的产量、稼动率、良率等核心生产指标至关重要。随着芯片工艺节点的不断升级，晶圆厂的工艺制造流程与AMHS系统的结合已成为晶圆厂生产建设必不可少的重要规划，对于晶圆厂至关重要。

*一般一座12寸40nm 40000片月产能的晶圆厂通常包含约200台天车构成的天车传送系统、约25-30台大型存储设备和10000台以上的空中缓存单元，以及其他各种形式的传输、存储 、净化设备。

"通过自动化、智能化的改造可大幅提升设备生产效率和产品良率， AMHS可实现半导体晶圆厂生产线间物料的无尘自动搬运，减少搬运过程的振动，满足半导体的精密化生产需求，提升半导体的生产效率，已成为众多先进晶圆厂的标配。"芯粤能表示，"此次弥费科技AMHS系统级解决方案验证通过并顺利交付，提高了芯粤能工厂的自动化水平，实现了智能化管理，有望帮助芯粤能大幅提高生产效率，保证产品质量稳定性。"

弥费科技董事长兼CEO缪峰表示，今年第四季度，预计弥费科技将进一步实现8英寸和12英寸半导体晶圆厂AMHS的整厂量产交付，这意味着海外寡头在过去20～30年对半导体AMHS这一细分赛道上垄断局面将被彻底打破。弥费科技作为半导体自动化领域的后起之秀，凭借优异的产品技术能力和在行业内取得的良好口碑，已成为中国境内极少数能提供成套半导体晶圆厂AMHS的中国本土供应商之一。

关于芯粤能

广东芯粤能半导体有限公司（简称："芯粤能"），是一家面向车规级和工控领域的碳化硅芯片制造和研发企业，产品主要包括碳化硅SBD/JBS、MOSFET、IGBT等功率器件，主要应用于新能源汽车、工业电源、智能电网以及光伏发电等领域，是目前国内最大的专注于车规级碳化硅芯片制造的企业，分别被广东省、广州市和南沙区列为重点建设项目。

关于弥费科技

弥费科技（上海）股份有限公司（简称："弥费科技"）是中国领先的半导体AMHS设备及核心零部件供应商，公司专注于生产、研发、销售适用于半导体晶圆厂的自动物料搬运系统AMHS（Automated Material Handling System）。公司总部位于上海，是上海市专精特新企业，国家高新技术企业；生产基地位于上海临港新片区，是临港新片区集成电路产业重点签约企业。弥费科技作为领先的成套化半导体晶圆厂AMHS中国供应商，不仅成功打破了国外厂商对AMHS这一半导体产业链细分领域的垄断，更实现了产品性能关键指标领先国内技术，对标国际一流。