村田制作所（Murata）近日发布了SCA3300系列高性能三轴MEMS加速度计，该系列加速度计可广泛应用于工业和汽车领域。该加速度计外观尺寸为7.6mm x 8.6mm x 3.3mm，这款小型表面贴装MEMS加速度计可为用户提供1.5g、3g或6g的可选量程，具有优于10mg的偏置稳定性。该系列加速度计非线性度为0.1%，能够提供最佳的MEMS传感器倾角测量，其典型噪音密度为37ug/√Hz。该系列加速度计的机械过阻尼特性使其能够在恶劣、振动环境中实现超高的测量性能。
这款紧凑型加速度计芯片封装在一颗预制的双扁平引线表面贴装壳中，通过3.3V直流电供电，其正常运行时功耗仅为1mA，非常适用于电池供电型应用。在其低功耗模式下，功耗能够进一步降低至0.5mA。该加速度计与主机应用，通过工业标准的SPI接口进行通讯。
该加速度计是一款高可靠性3D MEMS传感器，通过了汽车产业的AEC-Q100质量标准认证。该加速度计还具有广泛的故障保护供能和诊断标志，包括内部参考信号监测、验证通讯校验技术和信号饱和/超量程监测。其独特的诊断功能为连续运行的自检功能，该技术获得了专利保护，包括在每个测量循环中，从MEMS传感器运动到信号调理电路的连续自检验证，确保了整个信号链的正常运行。其运行温度范围为-40℃ ~ +125℃。
该系列加速度计的目标应用包括调平和对准系统、重型机械的惯性测量单元、导航系统、自动引导车以及施工测量设备等。未来在高精度汽车惯性传感领域，也具有广泛的不同应用，如先进驾驶辅助系统（ADAS）和智能运输控制等也能够利用该加速度计实现。利用倾角传感的重量测量也是一种应用案例。