日本横滨 - （BUSINESS WIRE） - CyberOptics®公司（NASDAQ：CYBE），一家全球领先的开发商和高精度的3D传感技术解决方案供应商，将展示和展览在第23次研讨会光罩和NGL面膜技术在横滨，日本，2016年4月6日至八日。
海报展示周二，4月7日，17：10-19：00将有先生Yukinobu林，现场应用工程师CyberOptics的，在讨论“监测湿度浸泡扫描器光罩环境，以降低标线片雾状效果最佳实践。”
“关键是要有效地监控RH浸入式扫描仪，产生不良影响可以从阴霾导致时不采取适当的措施来测量和控制它，”林山说。
CyberOptics的ReticleSense®自动的多传感器（AMSR）所用的标线片环境的所有位置测量湿度和检测，其中H 2 O暴露于标线片的任何地方。监测湿度是在降低光罩的雾度是至关重要的。霾是引起掩模残余物中，193nm的光和H 2 O的组合光罩产生不利影响。除了相对湿度测量时，AMSR也可用于振动和流平 - 用于增加产量和降低了停机时间的重要因素。
关于和的WaferSense线ReticleSense
该的WaferSense测量产品，包括自动调平系统（ALS），自动定寸系统（AGS），自动振动系统（AVS），自动教学系统（ATS）和尘埃粒子传感器（APS）是200毫米现已推出， 300毫米450mm晶圆尺寸。此外，无论是APS和ALS是了150毫米尺寸可供选择。该ReticleSense尘埃粒子传感器（APSR）中，ReticleSense自动调平系统（ALSR）和新ReticleSense尘埃粒子传感器石英（APSRQ）的分划板形的外形可供选择。有关CyberOptics的解决方案的整个产品线的更多信息，请访问该公司的网站www.cyberoptics.com。